目前在压缩空气系统中被广泛使用的露点仪，工作原理基本都是通过水分的增减改变电容介电材料的特性，进而改变电容值，进而改变由电容和电感组成的振荡电路的振荡频率。振荡频率的高低反应压缩空气中水分含量的多少。
采用这种工作原理的露点仪，根据所采用介电材料的不同常见的有两类：氧化铝型和高分子聚合物薄膜型。氧化铝型最低可以测量到-100 °C的压力露点，薄膜型最低可以测量到-80 °C。
之前解释过，露点仪也叫微水仪，因此将露点仪长期放置于大气环境中，会降低露点仪的测量精度。固定式安装的露点仪一般2年需要重新校准一次;而便携式应用的露点仪一般1年就要重新校准一次，主要原因就是便携式露点仪和大气环境接触的机会更多，测量精度更容易受到影响。
