x射线光电子能谱仪工作原理是 一定能量的X光映照到样品外表，和样品发作作用，能够使样品原子中的电子脱离原子成为自在电子，应用能量剖析器，测得光电子的能量，最终取得样品的组成。
X射线光电子能谱仪根本原理
X射线光子的能量在1000~1500 ev之间，不只可使分子的价电子电离而且也能够把内层电子激起出来，内层电子的能级受分子环境的影响很小。同一原子的内层电子分离能在不同分子中相差很小，故它是特征的。光子入射到固体外表激起出光电子，应用能量剖析器对光电子停止剖析的实验技术称为光电子能谱。
XPS的原理是用X射线去辐射样品，使原子或分子的内层电子或价电子受激起射出来。被光子激起出来的电子称为光电子。能够丈量光电子的能量，以光电子的动能/约束能(binding energy，Eb=hv光能量-Ek动能-w功函数)为横坐标，相对强度(脉冲/s)为纵坐标可做出光电子能谱图。从而取得试样有关信息。X射线光电子能谱因对化学剖析最有用，因而被称为化学剖析用电子能谱。
深圳X射线光电子能谱机构
X射线光电子能谱仪特性
XPS作为一种现代剖析办法，具有如下特性:
(1)能够剖析除H和He以外的一切元素，对一切元素的灵活度具有相同的数量级。
(2)相邻元素的同种能级的谱线相隔较远，互相干扰较少，元素定性的标识性强。
(3)可以观测化学位移。化学位移同原子氧化态、原子电荷和官能团有关。化学位移信息是XPS用作构造剖析和化学键研讨的根底。
(4)是一种高灵活超微量外表剖析技术。样品剖析的深 度约2 nm，信号来自外表几个原子层，样品量可少至10-8g，绝 对灵活度可达10-18g。
X射线光电子能谱仪的应用
XPS主要应用是测定电子的分离能来审定样品外表的化学性质及组成的剖析，其特性在光电子来自外表10nm以内，仅带出外表的化学信息，具有剖析区域小、剖析深 度浅和不毁坏样品的特性，普遍应用于金属、无机资料、催化剂、聚合物、涂层资料矿石等各种资料的研讨，以及腐蚀、摩擦、光滑、粘接、催化、包覆、氧化等过程的研讨。